- Projektile: Schwere Ionen (Xe, Ar...)- Ortsauflösung (Strahldurchmesser): 1 µm bis 1 mm
- Nachweis der vorwärts gestreuten Ionen
- Zerstörungsfreie Bestimmung der Konzentration leichter Elemente (H, D, He...)
sowie deren Element-Tiefenprofile
- Informationstiefe bis maximal etwa 1 µm
- Tiefenauflösung in Abhängigkeit von der Matrix: (50 ... 100) nm
- Nachweisempfindlichkeit: Atom-%
- Hochauflösende ERD: - Informationstiefe bis ca. 100 nm
- Tiefenauflösung: ca. 2 nm
