- Projektile: Protonen, He-Ionen- Ortsauflösung (Strahldurchmesser): 1 µm bis 1 mm
- Nachweis der rückgestreuten Ionen
-
Zerstörungs- und standardfreie Bestimmung der Matrixzusammensetzung
(stöchiometrische Anteile) sowie von Element-Tiefenprofilen
- Zerstörungsfreies Bestimmen
der Dicke und Zusammensetzung von
Mehrschichtsystemen an der Probenoberfläche im Bereich bis etwa 10 µm Tiefe
- Informationstiefe bis etwa 10 µm
- Tiefenauflösung in Abhängigkeit von der Matrix: (30 bis 50) nm
- Nachweisempfindlichkeit: Atom-% (für alle Elemente, ausgenommen H)
- Bestimmen der Konzentrations-Tiefenprofile von stöchiometrischen Anteilen der
Hauptelemente einer Probe am metallographischen Schliff durch Scannen mit dem
Ionenstrahl
- Hochauflösende RBS:
- Erhöhte Tiefenauflösung: ca. 2 nm
