- Projektile: Protonen- Nachweis der prompten Gammastrahlung aus Kernreaktionen
- Ortsauflösung (Strahldurchmesser): 1 µm bis 1 mm
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Zerstörungs- und standardfreie Bestimmung der Elementgehalte für alle leichten
Elemente mit einer Ordnungszahl von Z = 1 (H) bis Z = 13 (Al)
- Informationstiefe (10 bis 15) µm
- Nachweisempfindlichkeit: ppm-Bereich (10-6 g/g)
==> Faktor 1000 empfindlicher im Vergleich zum
Rasterelektronenmikroskop
- Bestimmen der Konzentrations-Tiefenprofile von Haupt- und Spurenelementen am
metallographischen Schliff durch Scannen mit dem Ionenstrahl
- Zerstörungsfreie Bestimmung von Konzentrations-Tiefenprofilen bis in eine Tiefe
von etwa (3 ... 5) µm bei einer Tiefenauflösung ab 10 nm
- Externer Strahl: Untersuchung von nicht vakuumbeständigen Proben an der Luft
bzw. in einer Gasatmosphäre