- Projektile: Protonen- Nachweis der charakteristischen Röntgenstrahlung
- Ortsauflösung (Strahldurchmesser): 1 µm bis 1 mm
-
Zerstörungs- und standardfreie Bestimmung der Elementgehalte für alle
Elemente mit einer Ordnungszahl ab Z = 13 (Al) bis Z = 92 (U)
- Informationstiefe (10 bis 15) µm
- Nachweisempfindlichkeit: ppm-Bereich (10-6 g/g)
==> Faktor 1000 empfindlicher im Vergleich zum
Rasterelektronenmikroskop
- Bestimmen der Konzentrations-Tiefenprofile von Haupt- und Spurenelementen am
metallographischen Schliff durch Scannen mit dem Ionenstrahl
- Externer Strahl:
Untersuchung von nicht vakuumbeständigen Proben an der Luft
bzw. in einer Gasatmosphäre
